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半导体行业应用超纯水设备,实现清洗用水的高纯度

发布时间:2023-11-13

  半导体行业的发展面临着一些挑战。其中之一是半导体的制造需要使用大量的水资源。在半导体的制造过程中,需要使用超纯水来清洗半导体芯片,去除表面残留的微粒和金属离子。因此,超纯水设备的性能对半导体的制造质量有着重要的影响。

  据了解,在半导体的制造过程中,需要保证其生产的清洁程度,所以使用的超纯水设备产出的超纯水作为清洗用水,其出水水质可以达到电子级或工业级的水质标准。一旦水质不纯,就会导致半导体芯片表面残留的微粒和金属离子不能完全去除,从而影响半导体的性能和质量。因此,超纯水设备的出水水质对半导体的制造至关重要。

超纯水设备

  目前市面上常用的超纯水设备应用反渗透工艺和EDI系统相结合的工艺来制取超纯水。该设备出水电阻率可达16 MΩ*cm(25℃),具有环保、经济、发展潜力巨大等诸多优势。具体优势如下:

  1、超纯水设备内应用膜技术法,在保证系统高回收率的同时,有效提高系统的产水水质。

  2、超纯水设备可以连续稳定地制备出质量良好的超纯水,不会因为树脂再生问题而停止运行,设备结构设计比较严密,所以其占地面积非常小,可以为企业节省大量空间。

  3、超纯水设备内应用的EDI系统无须酸碱再生,是一种新型的脱盐方式。该系统运行成本低、自动化程度高,可连续工作,出水水质好且稳定。

  4、超纯水设备遇故障能够立即自停,具有自动保护功能,且具有能耗低、水利用率高等优势。

  总之,超纯水设备在半导体行业中具有非常重要的应用价值,可有效实现清洗用水的高纯度。它不仅可以清洗半导体芯片表面的微粒和金属离子,还可以制备高纯度的化学试剂。同时,超纯水设备也需要符合半导体制造过程中的严格要求,以保证出水水质的稳定性和可靠性。

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  编辑:柒柒   技术:米

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